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如何選用Z合適的晶振片?

更新時(shí)間:2011-02-24      點(diǎn)擊次數(shù):3047
   鍍膜科技日新月異,對(duì)于鍍膜工程師來(lái)說(shuō),如何根據(jù)不同的鍍膜工藝選擇*的晶振片確實(shí)不易。下面建議供大家參考:

1)鍍低應(yīng)力膜料時(shí),選擇鍍金晶振片

    zui常見(jiàn)的鍍膜是鍍Al、AuAg、Cu,這些膜層幾乎沒(méi)有應(yīng)力,在室溫下鍍膜即可。膜層較軟,易劃傷,但不會(huì)裂開(kāi)或?qū)桩a(chǎn)生負(fù)作用。建議使用鍍金晶振片用于上述鍍膜,經(jīng)驗(yàn)證明,可以在鍍金晶振片鍍60000埃金和50000埃銀的厚度。

2)使用鍍銀或銀鋁合金鍍高應(yīng)力膜層

    Ni、CrMo、Zr、Ni-Cr、Ti、不銹鋼這些材料容易產(chǎn)生高應(yīng)力,膜層容易從晶體基片上剝落或裂開(kāi),以致出現(xiàn)速率的突然跳躍或一系列速率的突然不規(guī)則正負(fù)變動(dòng)。有時(shí),這些情況可以容忍,但在一些情況下,會(huì)對(duì)蒸發(fā)源的功率控制有不良作用。

3)使用銀鋁合金晶振片鍍介質(zhì)光學(xué)膜

    MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2膜料由于良好的光學(xué)透明區(qū)域或折射率特性,被廣泛用于光學(xué)鍍膜,但這些膜料也是zui難監(jiān)控的,只有基底溫度大于200度時(shí),這些膜層才會(huì)與基底有非常良好的結(jié)合力,所以當(dāng)這些膜料鍍?cè)谒涞幕拙д衿?,在膜層凝結(jié)過(guò)程會(huì)產(chǎn)生巨大的應(yīng)力,容易使晶振片在1000埃以內(nèi)就回失效。

    這時(shí)候,選用合金晶振片將是的選擇,將大大減少調(diào)頻機(jī)會(huì)。實(shí)驗(yàn)室顯示,使用合金晶振片監(jiān)視氟化鎂,有效壽命比鍍金的長(zhǎng)。如果把冷卻水的溫度從20度提高到50度,晶振片的壽命更可以再延長(zhǎng)一倍。

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