技術(shù)文章
INFICON皮拉尼真空計的特點概要
一、 兩種類型的皮拉尼規(guī)
1、 穩(wěn)定溫度,測量施加的電壓變化等效測量真空度(INFICON PSG500)
2、 穩(wěn)定電壓,測量溫度變化等效測量真空度(熱偶規(guī))
二、 皮拉尼真空計具體型號
· PSG050/051
· PSG100-S PSG101-S
· PSG500/500-S PSG502
· 皮拉尼電容膜片復(fù)合真空計PCG400 PCG410 PCG550
1)有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起
2)兩種原理的規(guī)管全過程都工作
3)100 mbar—1000 mbar 使用薄膜規(guī)信號
4)1 mbar– 100mbar 兩規(guī)信號同時采用
5)5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信號
6)輸出的真空度信號(電壓)連續(xù),無跳躍
三、皮拉尼真空計應(yīng)用行業(yè)
1)各種高真空泵的前級壓力測量,如光伏、鍍膜、等離子行業(yè)
2) 各種中低真空測量,如照明,冶金
3)真空連鎖控制,高真空計的點火開關(guān)控制,如PEG100
4) PSG050可*替代TR211,PSG051可*替代TR216
5)PCG400/PCG410現(xiàn)在已升級為PCG550(PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn)),與PSG500 基本相同,但彌補了皮拉尼規(guī)大氣測量段精度不足的弱點,而且不受氣體類型的影響,在真空爐,單晶爐,多晶爐,藍寶石爐上廣泛應(yīng)用
6)PSG100/ PSG101,與PSG500/PSG050基本相同,但前者具有通訊協(xié)議功能,在大系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛
(版權(quán)聲明:文章部分內(nèi)容摘錄自友商網(wǎng)絡(luò)文章《真空計種類這么多,如何選擇才最好?》,在此致謝,如有不當(dāng)請聯(lián)系刪除。)