石英晶體是 QCM 系統(tǒng)中的速率和厚度傳感元件。這些晶體用于所有標準 INFICON 監(jiān)控器或控制器以及 INFICON（或其他制造商的）單、雙或多晶體傳感器的真空應(yīng)用。   

 

INFICON 推出各種晶體和包裝，可隨時為您提供所需的晶體。

 

標準 AT 切割的 1 in. (25.4 mm) 直徑晶體主要用于 INFICON RQCM（石英晶體微天平研究系統(tǒng)） 和 PLO-10i 系統(tǒng)的研究應(yīng)用。 這些研究晶體設(shè)計用在 INFICON 牢固且使用方便的晶體支架上， 對沉積薄膜或液體進行現(xiàn)場監(jiān)控。