真空的由來及制造真空的設(shè)備——高真空鍍膜機(jī)

更新時(shí)間：2011-02-23 點(diǎn)擊次數(shù)：2659

    科學(xué)技術(shù)飛躍的今天，光電技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用已經(jīng)深入到各行各業(yè)，但是其制備的必須設(shè)備——真空鍍膜機(jī)器，由zui初的復(fù)雜化、手動(dòng)化和只能被應(yīng)用到軍事科研領(lǐng)域，發(fā)展到現(xiàn)在的簡單化，集成化，智能化，并且被廣泛推行及民用，價(jià)格也由之前的幾千萬一臺(tái)降到現(xiàn)在的幾百萬就可以買到。光電技術(shù)的發(fā)展必然以真空技術(shù)為基礎(chǔ)。

    鍍膜機(jī)是集多門學(xué)科一體的精密儀器，尤其在機(jī)電技術(shù)的應(yīng)用方面，甚為廣泛，所以，機(jī)電一體化技術(shù)是真空技術(shù)的基礎(chǔ)。鍍膜設(shè)備的進(jìn)步與發(fā)展也充分體現(xiàn)了機(jī)電技術(shù)的價(jià)值。

   “真空”一詞來自希臘語，原本是虛無的意思，人類對真空的研究和應(yīng)用由來已久，對它并不陌生。到今天，真空技術(shù)作為一門應(yīng)用科學(xué)，與人類的生活已經(jīng)密不可分。

   zui初人們?yōu)榱双@得真空，做了大量試驗(yàn)，比如zui的“馬德堡半球試驗(yàn)”，人類還發(fā)明了抽氣泵，用來對密閉的容器進(jìn)行抽氣，以求獲得真空，隨著人類對真空技術(shù)的研究與不斷探索，同事也發(fā)明了測量真空的諸多方式，時(shí)至今日，真空技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于工業(yè)，軍事，農(nóng)業(yè)，科研、半導(dǎo)體、顯示技術(shù)等，真空技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用，大大促進(jìn)了生產(chǎn)力的發(fā)展。

   現(xiàn)在，人類已經(jīng)能通過特制的容器獲得超高真空，同時(shí)，制作了各種儀表測量真空度，不僅如此，還制作各種設(shè)備，比如：真空鍍膜機(jī)器，就是應(yīng)用zui廣泛的儀器。

   鍍膜機(jī)按照其應(yīng)用領(lǐng)域的不同可以分為電子槍熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)、磁控濺射鍍膜機(jī)、等離子鍍膜機(jī)、射頻鍍膜機(jī)等，但是他們的結(jié)構(gòu)都一樣，以光學(xué)鍍膜機(jī)為例，主要有三大部分組成：真空主體——真空腔，輔助排氣系統(tǒng)（包括排氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)）、蒸發(fā)系統(tǒng)（包括坩堝及回轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)、電子槍柜）、成膜控制系統(tǒng)。

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