檢漏儀檢漏口的位置通??梢赃B接在圖1 中虛線A 或B 的位置,因?yàn)檫@兩處均能達(dá)到檢漏儀檢漏口小于1000 Pa 的工作要求,對于粗檢兩個位置都能夠達(dá)到要求,但對于系統(tǒng)的小漏,位置的選擇則相當(dāng)關(guān)鍵,對于核級鋯鑄錠的生產(chǎn)來說,當(dāng)漏率介于0.65~1.5 Pa/min 時(shí)更要注意位置的選擇。主要原因是由于:該型號的檢漏儀分為檢測大漏、中漏和微漏,當(dāng)檢漏口14的壓強(qiáng)100 PaPa<Pa<1000 Pa 時(shí)檢漏儀V1 和V2打開,氦氣部分分子沿分子泵排氣口逆流進(jìn)入質(zhì)譜室,因此只有當(dāng)氦氣分子較多時(shí)才能被檢測到;當(dāng)壓強(qiáng)10 Pa<Pa<100 Pa 時(shí),檢漏儀關(guān)閉V2,打開V3,V1 閥,此時(shí)氦氣分子較多沿4 處分子泵進(jìn)氣口1 逆流進(jìn)入質(zhì)譜室中,可以檢測到系統(tǒng)的中漏;當(dāng)Pa <10 Pa 時(shí),檢漏儀關(guān)閉V3,打來V4、V1 閥,此時(shí)氦氣分子大部分沿15 處分子泵進(jìn)氣口2 逆流進(jìn)入質(zhì)譜室中,達(dá)到檢測微漏的效果。
由于在正常工作時(shí)機(jī)械泵進(jìn)氣口A 處的真空度受管道氣密性及泵本身的抽空能力等因素的影響,通常真空度可能在20~200 Pa 的范圍內(nèi),因此真空技術(shù)網(wǎng)(http:///)認(rèn)為對于檢測中漏來說,有可能導(dǎo)致檢漏儀的V3 閥無法打開,使得中漏的部分漏孔無法檢測出來,這也是為什么在現(xiàn)場檢漏過程中有時(shí)無法檢測出漏點(diǎn)的主要原因。
小羅茨泵進(jìn)氣口B 處實(shí)際上是機(jī)械泵與羅茨泵在聯(lián)合抽空,真空度通常保證在10~30 Pa 范圍內(nèi),能夠保證檢漏儀在中漏的范圍內(nèi)進(jìn)行工作,即氦氣從4 或15 處逆流進(jìn)入質(zhì)譜室中,保證檢漏儀的穩(wěn)定可靠工作。