1. 起動(dòng)機(jī)械泵時(shí)，首先要保證轉(zhuǎn)子運(yùn)動(dòng)方向正確，而且油位合乎要求。

2. 油封機(jī)械泵停止后，立即將機(jī)械泵入口通大氣。因泵內(nèi)真空會(huì)使泵油進(jìn)入系統(tǒng)中。

3. 盡量不要用機(jī)械泵把高真空室直接抽至低于10Pa（0.1Torr）壓強(qiáng)，否則機(jī)械泵的油蒸氣會(huì)進(jìn)入高真空室。因?yàn)樵趬簭?qiáng)低于10Pa 時(shí)，會(huì)出現(xiàn)分子性氣流，油分子將會(huì)返流到真空室而造成污染。如果一定要抽到10Pa 以下，則應(yīng)當(dāng)設(shè)置油分子捕集器。

4. 不應(yīng)當(dāng)使機(jī)械泵在大氣壓強(qiáng)下或者較高壓強(qiáng)下連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作，否則電機(jī)會(huì)過(guò)熱，而且泵會(huì)噴出油霧。

5. 在擴(kuò)散泵（或油增壓泵）通大氣之前，應(yīng)將泵油冷卻到安全溫度，防止高溫下的泵油氧化。

6. 使用電離計(jì)時(shí)，應(yīng)當(dāng)在壓強(qiáng)達(dá)到0.1 Pa 以下時(shí)再起動(dòng)電離真空計(jì)，以防止電離計(jì)燒毀。

7. 高真空系統(tǒng)系統(tǒng)需要停止使用時(shí)，盡量將真空室及主泵在真空狀態(tài)下封存，以縮短下一次使用時(shí)的抽氣時(shí)間。

8. 系統(tǒng)冷卻水壓力一般大于1 公斤且小于2.5 公斤，過(guò)低的壓力會(huì)造成冷卻水流通不暢，過(guò)高的壓力會(huì)導(dǎo)致漏水或泵水隔套被壓破等故障。泵內(nèi)的油在添加時(shí)一定要使用1#真空油。