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一、常用的泄漏檢測方式:
1.氣泡檢漏。小可檢測泄漏為10-4 atm-cc/sec。
2.壓力衰減。小可檢測泄漏受控于時間,通常為0.01 atm-cc/sec。
3.超聲波檢漏。小可檢測泄漏為0.01 atm-cc/sec。
4.氦氣檢漏。小可檢測泄漏為10-11 atm-cc/sec。
二、漏率:是指在已知漏泄處兩側(cè)壓差的情況下,單位時間內(nèi)流過漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。
三:漏率單位的換算公式:
| Pa·m3/s | Torr·L/s | mbar·L/s | atm·cc/s | std·cm3/s |
1 Pa·m3/s | 1 | 7.5 | 10 | 9.9 | 9.9 |
1 Torr·L/s | 0.133 | 1 | 1.33 | 1.33 | 1.33 |
1 mbar·L/s | 0.1 | 0.75 | 1 | 0.99 | 0.99 |
1 atm·cc/s | 0.101 | 0.76 | 1.01 | 1 | 1 |
1 std·cm3/s | 0.101 | 0.76 | 1.01 | 1 | 1 |
1 std·cm3/s=0.101 Pa·m3/s
1 std·cm3/s=1.01 mbar·L/s
1 Pa·m3/s=9.9 std·cm3/s