熱烈祝賀中國臺灣日揚Htc插板閥等超高真空閥門在MBE設(shè)備上批量使用！

超高真空閘閥-UHV gate valve的組成主要由三個組件組成分別為驅(qū)動器,閥車/閥門與閥體。Htc日揚真空(Htc Vacuum)

所提供的閘閥可分成應(yīng)用于高真空與超高真空兩大類, 用于超高真空系統(tǒng)使用的閘閥是屬旋轉(zhuǎn)式直線作動。藉手動或氣動的

驅(qū)動閥桿來驅(qū)動真空閥門齒輪以達閘門之開闔功能。真空閘閥含有波紋管與無波紋管。接口端可配置KF, ISO, ANSI, JIS與CF法蘭。

Htc日揚真空(Htc Vacuum)設(shè)計的所有系列真空閘閥適用于真空排氣系統(tǒng)，超高真空應(yīng)用的抽氣系統(tǒng)，半導(dǎo)體技術(shù)，同步幅射中

心與學(xué)術(shù)研究系統(tǒng)等。

Htc日揚真空所提供的真空閘板閥又分為手動式與氣動式擋板閥兩種具的制造精度和穩(wěn)定品質(zhì)，因而可滿足各種高真空與超高真空

的設(shè)備制程環(huán)境。這些真空閘閥還可配合與低溫泵、分子泵或任何須要極度潔凈高生命周期及低維護的制程。Htc日揚真空可提供

的各式接口法蘭，如KF、ISO、ANSI、CF的真空閘閥。亦可提供特制規(guī)格真空閘板閥之制作。

真空閘閥閥體精密焊接制造, 受力均勻、密封可靠、結(jié)構(gòu)緊湊、強度高的材料和使用真空環(huán)境要求, 達到高真空、超高真空、超潔

凈、超長使用壽命。