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在較高壓力時(shí)(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計(jì),麥克勞真空計(jì),薄膜計(jì),彈簧管壓力計(jì)等。
在10~10Pa的中間壓力范圍,利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo),粘性)的變化而做成的皮氏計(jì)、粘性真空計(jì)。
在低壓力時(shí),使用將氣體分子電離而測(cè)量的電離真空計(jì)。
真空計(jì)的適用壓力范圍
真空計(jì)的名稱 | 可測(cè)的壓力范圍(Pa) |
水銀壓力計(jì)(U型管) | 10~10 |
油壓力計(jì)(U型管) | 10~10 |
油壓力計(jì)(U型管) | 3*10~1 |
麥克勞真空計(jì)(一般型和特殊型) | 10~10 |
彈性變形真空計(jì) | 10~10 |
隔膜真空計(jì)(機(jī)械式) | 10~10 |
隔膜真空計(jì)(電氣式) | 10~10 |
電離真空計(jì)(三極管型) | 10~10 |
超高真空用B-A型 | 10~10 |
*真空用熱陰極磁控計(jì) | 10~10 |
高真空用(舒爾茨型) | 10~10 |
冷陰極真空計(jì) | 1~10 |
皮拉尼真空計(jì) | 10~10 |
熱電偶真空計(jì) | 10~10 |
熱敏電阻真空計(jì) | 10~10 |
粘性真空計(jì) | 1~10 |
克努曾真空計(jì) | 10-1~10 |