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簡要描述:Htc日揚真空設計所有系列全金屬角閥適用于真空排氣系統(tǒng)、高真空應用的抽氣系統(tǒng)、半導體技術與研究系統(tǒng)等。
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詳細介紹
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地 | 進口 |
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加工定制 | 否 |
全金屬角閥門(Bakeable All-Metal Valve)是屬提升錐閥的一種。當提升錐被頂至頂端時, 閥門內(nèi)部的結(jié)構(gòu)腔是開放系統(tǒng)且氣體流動不受阻礙。一旦提升錐被移動至閥門底部時,銅墊片之密封墊被壓縮密封閥門,而阻絕氣體的流通達到密封之效果。Htc日揚真空提供之全金屬閥門設計適用于超高真空的環(huán)境下,其封止用的墊片是可耐大溫差之金屬墊片。
全金屬角閥的技術參數(shù):
工作溫度范圍:可烘烤至:400℃(開),300℃(閉)。
壓力范圍:1x10- 10 torr 到 760 torr。
全不銹鋼結(jié)構(gòu)。
泄漏率:10 - 10 mbar·l/sec.
封扭矩:
CR16 First 150kg-cm, Maximum 250kg-cm.
CR35 First 300kg-cm, Maximum 600kg-cm.
CR63 First 300kg-cm, Maximum 900 kg-cm.
壽命周期(用于Gasket墊片密封):
CR16 : 垂直/水平安裝方向300次
CR35 : 垂直/水平安裝方向300次
CR63 : 垂直安裝方向300次 水平安裝方向100次
方向:任意位置。
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