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簡(jiǎn)要描述:PEV-1美國(guó)HEY壓電閥是為了適用于要求精確控制氣體流量的場(chǎng)合,主要應(yīng)用領(lǐng)域包括: 磁控濺射,光學(xué)鍍膜,太陽(yáng)能電池,ITO,等離子體刻蝕等。
產(chǎn)品分類(lèi)
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詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
---|---|---|---|
加工定制 | 否 |
PEV-1美國(guó)HEY壓電閥
特點(diǎn)
1. 控制模式:開(kāi)環(huán)控制和閉環(huán)控制
2. 易于集成:可與國(guó)產(chǎn)自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀配套使用,來(lái)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,達(dá)到穩(wěn)定壓強(qiáng)的目的,性?xún)r(jià)比高,同時(shí)亦可選擇進(jìn)口壓強(qiáng)控制儀
3. 響應(yīng)時(shí)間快
4. 性能穩(wěn)定,壓電陶瓷片壽命長(zhǎng)
5. 無(wú)機(jī)械連接件,無(wú)伺服馬達(dá),無(wú)磨損,在斷電的情況下可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)關(guān)閉的特點(diǎn)
技術(shù)參數(shù)
流量 0--500 scmm
響應(yīng)時(shí)間 2 毫秒
集成漏率 5×10-8sml/sec
驅(qū)動(dòng)電壓 0-100VCD/0-24VDC
電路連接 標(biāo)準(zhǔn)BNC接頭(Q9)
溫度范圍 100C至600C
zui大入口壓強(qiáng) 50PSI
重量 800克
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