2179A MKS質(zhì)量流量控制器和截止閥

簡(jiǎn)要描述：2179A質(zhì)量流量控制器和截止閥

產(chǎn)品型號(hào)：
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2024-09-27
訪問(wèn) 量：3792
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加工定制	否

2179A MKS質(zhì)量流量控制器和截止閥

2179A是通用彈性體密封質(zhì)量控制器和完整的截止閥。用于各種氣體測(cè)量和控制流量。當(dāng)連接到一個(gè)合適的壓力傳感器它可以用作壓力控制器。截止閥狀態(tài)為常閉，閥精確率4x10^-9scc/sec。2179A輸出信號(hào)有模擬和數(shù)字模擬。滿量程的精度為1%。2179A所需功率低單位操作100mA消耗為±15VDC（200mA開(kāi)啟）。

2179A MKS質(zhì)量流量控制器和截止閥

例如：型2179a00411cr16vxx

氣體選型
Helium, He	001
Argon, Ar	004
Hydrogen, H2	007
Nitrogen, N2	013
Oxygen, O2	015
流量選型，單位SCCM（zui大20000 N2當(dāng)量）
10	11C
20	21C
50	51C
100	12C
200	22C
500	52C
1000	13C
2000	23C
5000	53C
10000	14C
20000	24C
配件
標(biāo)準(zhǔn)：（兼容）Swagelok® 4 VCR® male	R
可選：（兼容）Swagelok 4 VCO® male	G
可選：（兼容）Swagelok 1/4" tube	S
長(zhǎng)度適配器w/ 4 VCR配件	L
長(zhǎng)度適配器w/ 1/4" Swagelok配件*	W
閥
常閉	1
連接器
模擬：
9針“D"類型	A
15針“D"類型	B
20針邊緣卡	C
單元組合儀表15針“D"類型	N
微孔15針“D"類型	T
連接器
數(shù)字：
RS-485	5
DeviceNet™	6
密封
標(biāo)準(zhǔn)：Viton®	V
可選：Neoprene®	N
可選：Buna-N	B
可選：Kalrez®	K
固件版本（DeviceNet只）
除非另有規(guī)定，MKS公司將給當(dāng)前的版本	XX

2179A的接線方式：

CB147-12-10連接2179 9針 “D"型PR4000，246，247，647

CB259-5-10連接2179 15針 “D"型246，247

CB147-1-10連接2179 15針 “D"型PR4000，647

CB259-10-10連接2179 20針的邊緣卡246，247

CB147-7-10連接2179 20針的邊緣卡PR4000，647

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