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簡要描述:CDG100D 真空計溫度控制在 100 °C,適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內(nèi)均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口,能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜,具有防腐蝕性。
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詳細(xì)介紹
品牌 | Inficon/英???/td> | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
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加工定制 | 否 |
擁有成本更低,預(yù)熱速度快 50%,節(jié)能,低功耗
易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標(biāo)配兩個設(shè)定點(diǎn)
輕松一鍵歸零或遠(yuǎn)程信號歸零指令,可調(diào)零點(diǎn)偏移
診斷端口便于快速服務(wù)與維護(hù)
兩年保修服務(wù),加熱概念和真空計保護(hù)延長了使用壽命
zhuoyue的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性,即使是最嚴(yán)苛的等離子應(yīng)用,都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn):CE、EN、UL、SEMI、RoHS
現(xiàn)在提供 EtherCAT 數(shù)字接口!
蝕刻、CVD、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過程
化學(xué)和腐蝕性高溫過程
需要真空計保護(hù)的一般薄膜和真空過程
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