B-A 型真空計BAG402（中到超高真空真空計）

INFICON 單 Bayard-Alpert 熱電離真空計 BAG402 涵蓋從 5×^10-10 mbar 至 2.7×^10-2 mbar（3.75×^10-10 Torr 至 5×^10-2 Torr）的廣泛測量范圍。選擇 INFICON BAG402 緊湊型主動真空計套裝，在低成本、可重復的工藝過程中進行基礎壓力測量。dute的雙絲極結構提供更優(yōu)異的精度、長期穩(wěn)定性和長使用壽命。

優(yōu)勢

_ 測量范圍從 5 x 10^-10毫巴至 6.7 x 10^-2 毫巴 (3.75 x 10^-10乇至 5 x 10^-2乇)

_ 的再現(xiàn)性在過程壓強從 10^-8 … 10^-2毫巴的范圍內為 5%

_ 過壓檢測保護燈絲防止過早燒毀

_ 兩根涂敷氧化釔的長壽命銥燈絲

_ 可提供以太網現(xiàn)場總線接口

_ 發(fā)射電流選擇降低控制的復雜性

_ 易于更換傳感元件和在機校準數(shù)據(jù)保證高的再現(xiàn)性

_ RoHS 兼容性

應用

_ 在半導體過程和傳送室中的壓強測量

_ 工業(yè)鍍膜

_ 在低至超高真空范圍內的一般真空測量和控制