EBS-530 電子束掃頻控制器

自定義電子束掃頻控制裝置
EBS-530 電子束掃頻控制器會生成大量與電子束 (e-beam) 沉積源配合使用的精密掃頻圖案。 用戶可選擇提供的基本形狀（圓、數(shù)字 8、線和點(diǎn)），也可以創(chuàng)建用戶定義的圖案，以優(yōu)化金屬和電介質(zhì)材料的沉積控制。 通過應(yīng)用提供的圖案修改器，可創(chuàng)建基本形狀的變體。 提供的圖案修改器包括功率、掃頻、旋轉(zhuǎn)速度和功率配置文件。
通過用戶友好的觸摸屏 LCD 顯示屏，可以輕松操作和編程。 EBS-530 zui多可以存儲 32 個(gè)不同的掃頻圖案。 從前面板、通過遠(yuǎn)程輸入或通過標(biāo)準(zhǔn) RS-232/RS-485 接口，可以輕松選擇掃頻圖案。
從掃頻控制裝置嵌入的一組固定的基本掃頻圖案開始，用戶可以設(shè)計(jì)適合源和沉積材料特征的理想電子束掃頻圖案。 EBS-530 生成的掃頻圖案產(chǎn)生雙電流輸出，從而能夠驅(qū)動(dòng)大多數(shù)電子束沉積源的 X 和 Y 掃頻線圈。
EBS-530 提供校準(zhǔn)功能，用于補(bǔ)償不同類型與品牌電子槍之間的差異，并提供沉積材料的加熱。

功能

·         功能強(qiáng)大、易于使用的校準(zhǔn)功能可以補(bǔ)償槍磁體的不規(guī)則

·         高輸出電流： 0 至 5 安培交流電，帶 10 歐姆負(fù)載

·         驅(qū)動(dòng)器接地或浮動(dòng)線圈

·         高頻響應(yīng)： 500 赫茲用于線圈 <8 豪亨；200 赫茲用于線圈 = 33 豪亨

·         圖案類型： 圓、數(shù)字 8、線、點(diǎn)和用戶定義

·         手持式控制器用于手動(dòng)光束控制和校準(zhǔn)

·         RS-232/RS-485 通信輸入

·         輸入功率： 85 至 265 伏（交流），50/60 赫茲

·         功率因數(shù) = zui大線圈電流時(shí)為 0.99