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新型INFICON皮拉尼壓電組合真空計(PPG550)基于先進的MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器技術(shù)。在MEMS工 藝中小型化的皮拉尼/壓電組合技術(shù)能夠構(gòu)建非常小且節(jié)省空間的傳感器。皮拉尼基于MEMS技術(shù),在低真空范 圍內(nèi)比經(jīng)典皮拉尼測量得更深、更準(zhǔn)確。
皮拉尼壓電真空計 PPG570新型INFICON皮拉尼壓電組合真空計(PPG570)基于先進的MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器技術(shù),該技術(shù)也 用 于 我 們 的 PPG550“ATM 到 中 等 真 空 計 中 。PPG570與PPG550的區(qū)別在于額外安裝的ATM傳感器,該傳感器允許在經(jīng)典的負(fù)載鎖應(yīng)用中使用PPG570。
Spot CDS530D 陶瓷電容膜片傳感器專為集成到您特定真 空儀器和系統(tǒng)的有限空間而設(shè)計。雙微型傳感器在寬測量 范圍內(nèi)提供高精度,氧化鋁陶瓷單元和可焊接不銹鋼引線 都涂有氧化鋁涂層。傳感器電子設(shè)備提供數(shù)字SPI接口, 便于集成。該傳感器具有快速的數(shù)據(jù)周期時間,可對壓力 變化做出即時響應(yīng),具有出色的可重復(fù)性和長期穩(wěn)定性。
Spot CDS500D陶瓷電容膜片傳感器專為集成到您特定真 空儀器和系統(tǒng)的有限空間而設(shè)計。微型傳感器具有高精度, 氧化鋁陶瓷單元和可焊接不銹鋼引線都涂有氧化鋁涂層。 傳感器電子設(shè)備提供數(shù)字SPI接口,便于集成。該傳感器 具有快速的數(shù)據(jù)周期時間,可對壓力變化做出即時響應(yīng), 具有出色的可重復(fù)性和長期穩(wěn)定性。